2010版GMP規定潔凈室潔凈度各級別-懸浮粒子數
潔凈度級別 | 懸浮粒子最大允許數/立方米 | |||
靜態 | 動態 | |||
≥0.5μm | ≥5.0μm | ≥0.5μm | ≥5.0μm | |
A級 | 3520 | 20 | 3520 | 20 |
B級 | 3520 | 29 | 352000 | 2900 |
C級 | 352000 | 2900 | 3520000 | 29000 |
D級 | 3520000 | 29000 | 不作規定 | 不作規定 |
ISO Classification Number(N) | 粒 徑 Particles Size (μm) | |||||
0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 1.0μm | 5.0μm | |
ISO Class1 | 10個/m3 | 2個/m3 | ||||
ISO Class2 | 100個/m3 | 24個/m3 | 10個/m3 | 4個/m3 | ||
ISO Class3 | 1000個/m3 | 237個/m3 | 102個/m3 | 35個/m3 | 8個/m3 | |
ISO Class4 | 10000個/m3 | 2370個/m3 | 1020個/m3 | 352個/m3 | 83個/m3 | |
ISO Class5 | 100000個/m3 | 23700個/m3 | 10200個/m3 | 3520個/m3 | 832個/m3 | 29個/m3 |
ISO Class6 | 1000000個/m3 | 23700個/m3 | 102000個/m3 | 35200個/m3 | 8320個/m3 | 293個/m3 |
ISO Class7 | - | - | - | 352000個/m3 | 83200個/m3 | 2930個/m3 |
ISO Class8 | - | - | - | 3520000個/m3 | 832000個/m3 | 29300個/m3 |
ISO Class9 | - | - | - | 35200000個/m3 | 8320000個/m3 | 293000個/m3 |
潔凈度級別 Clean Class | 粒 徑 Particles Size (μm) | ||||
0.1μm | 0.2μm | 0.3μm | 0.5μm | 5.0μm | |
1 | 35.0個/ft3 | 7.50個/ft3 | 3.00個/ft3 | 1個/ft3 | |
10 | 350個/ft3 | 75個/ft3 | 30.0個/ft3 | 10個/ft3 | |
100 | - | 750個/ft3 | 300個/ft3 | 100個/ft3 | |
1000 | - | - | - | 1000個/ft3 | 7個/ft3 |
10000 | - | - | - | 10000個/ft3 | 70個/ft3 |
100000 | - | - | - | 100000個/ft3 | 700個/ft3 |